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          西安励德额温枪在疫情防控最前线发挥了重大作用

          发布:中国知识网阅读:94时间:2020-09-11
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          近期,突如其来的新型冠状病毒感染引发的肺炎疫情席卷全球 ,牵动每个人的心。在这次全民紧急战役中,除了口罩等疫情防护用品外,耳温枪、额温枪等非接触式红外测温设备凭借快速 、直观、安全等特点 ,在疫情防控最前线发挥了重大作用 。

          红外测温设备核心是热电堆红外传感器,热电堆红外传感器是基于塞贝克效应机理,采用硅基工艺 ,在底硅刻蚀深腔,顶硅支撑层上排布若干热电偶,传感器接收红外辐射时 ,热电堆上多个热电偶电压叠加输出,从而将采集温度转变为电压信号。测温设备难点在于需要达到医用计量标准,其核心传感器具备高精度、高可靠性 、高稳定性以及高一致性等要求。

          疫情紧迫 ,西安励德积极成立红外温度传感器项目组 ,加班加点讨论方案,协助合作单位完善设计方案,集中攻关工艺难点 。公司背腔刻蚀采用经典Bosch工艺 ,刻蚀与钝化交替进行,先后开发针对热电堆红外传感器的300μm、400μm深度的背腔深硅刻蚀技术。其中背腔刻蚀尺寸精度、侧壁垂直度 、侧壁粗糙度等均是影响传感器最终精度的重要指标,需要精确的工艺参数控制 ,如功率、气体流量、压力等,对刻蚀周期的调控都需要精确至毫秒级,保证芯片散热性能。

          3月以来 ,国外疫情日趋严重,西安励德加紧扩充相关产品的产能,突破红外测温技术瓶颈 ,核心技术完全自主可控,从根本上保证了产品质量和供货周期,有力筑起红外测温抗疫的第一道防线 。

          西安励德以”创造更美好的智能社会”为产业愿景 ,不断积累经验 ,重视创新,构建了相对完整的物联网(IOT)生态圈,以各类传感器为核心 ,形成了“设计+工艺开发+工艺验证+批量生产 ”的系统解决方案,业务覆盖民用传感器和航空航天等军用领域,以提供一流微器件制造解决方案为己任 ,不断努力。

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